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DETECTION OF CUMULATIVE REGISTRATION ERRORS ON PHOTOMASKS USING OPTICAL INTERFERENCE FRINGES

机译:使用光学干涉条纹检测光影上的累积配准误差

摘要

机译:

著录项

  • 公开/公告号US3604808A

    专利类型

  • 公开/公告日1971-09-14

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 WESTERN ELECTRIC CO. INC.;

    申请/专利号USD3604808

  • 发明设计人 LAURENCE S. WATKINS;

    申请日1969-10-31

  • 分类号G06K9/08;G01B9/02;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-23 09:01:55

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