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机译:手大搜文文Soyofuremu
公开/公告号JPS5153463A
专利类型
公开/公告日1976-05-11
原文格式PDF
申请/专利权人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP;
申请/专利号JP19740127410
发明设计人 SAKANE HIDEO;
申请日1974-11-05
分类号H01L21/60;H01L23/48;
国家 JP
入库时间 2022-08-23 03:19:21