公开/公告号JPS5157165A
专利类型
公开/公告日1976-05-19
原文格式PDF
申请/专利权人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO LTD;
申请/专利号JP19740130436
申请日1974-11-14
分类号H01L21/027;C03C3/00;C03C3/093;C03C3/095;C03C21/00;C23F1/00;G03F1/60;G03F9/00;H01L21/02;H05K3/00;
国家 JP
入库时间 2022-08-23 03:15:44
