公开/公告号JPS5158071A
专利类型
公开/公告日1976-05-21
原文格式PDF
申请/专利权人 NICHIDEN BARIAN KK;
申请/专利号JP19740132879
发明设计人 HOSOKAWA NAOKICHI;
申请日1974-11-18
分类号H01L21/302;C23F1/00;C23F4/00;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/3205;H05K3/00;H05K3/08;
国家 JP
入库时间 2022-08-23 03:15:00
