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机译：用于在像平面中同一位置的平面中映射多个相邻对象的光学设备
公开/公告号DE7534902U
专利类型
公开/公告日1977-04-14
原文格式PDF
申请/专利权人 ERWIN SICK GMBH OPTIK-ELEKTRONIK 7808 WALDKIRCH;
申请/专利号DE19750034902U
发明设计人
申请日1975-11-03
分类号G02B27/00;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 23:56:38
机译： 投影曝光设备的光学系统中使用的成像光学器件，其物平面平行于像平面布置，具有非球面旋转对称镜，其对称轴不垂直于物平面
机译： 用于微光刻的投影曝光设备，具有用于照明物平面中的物场的照明光学单元，并且在投影光学单元的孔径光阑平面中或附近布置校正屏。
机译： 光学成像装置，特别是用于显微镜的光学成像装置，包括在像面上显示物平面的物点的两个光学元件组，其中一个光学元件组包括具有反射光学表面的光学元件。
