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Auger microsond a scanning has the opening of the axial outlet and variable

机译:俄歇(Auger)Microsond扫描具有轴向出口的开口并且可变

摘要

P the invention relates to the top surface to balayge using an analyzer having cylindrical mirror. / p & & p & the analyzer to cylindrical mirror comprises a device for opening of the output variable mounted in the vicinity of the focusing point of the electrons to be analysed and the trace of the analyzer. Two versions of this device are proposed, one comprising three openings of different diameters, the other making it possible to vary continuously the outlet opening. / p
机译:本发明涉及使用具有柱面镜的分析仪来进行贴合的顶表面。 & &该分析仪到柱面镜包括用于打开输出变量的装置,该输出变量安装在要分析的电子的聚焦点和分析仪的迹线附近。提出了该装置的两种形式,一种包括三个不同直径的开口,另一种使得可以连续改变出口。

著录项

  • 公开/公告号FR2363884A1

    专利类型

  • 公开/公告日1978-03-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利号FR19770026363

  • 发明设计人

    申请日1977-08-30

  • 分类号H01J37/28;G01N23/227;

  • 国家 FR

  • 入库时间 2022-08-22 21:44:59

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