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机译:用于生产氯气或其他选择的生物反应器的装置,进料下降
公开/公告号IT1028820B
专利类型
公开/公告日1979-02-10
原文格式PDF
申请/专利权人 SODI FIORELLO;
申请/专利号IT19750009428
发明设计人
申请日1975-05-02
分类号B01L;
国家 IT
入库时间 2022-08-22 20:26:49
机译: 用于生产低热量燃气的生物煤联合生产装置
机译: 生产用于蚀刻半导体衬底的三氟化氯的设备包括等离子体反应器,用于在反应器内部形成等离子体的等离子体产生单元和用于将气体引入反应器的气体进料