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DEVICE FOR MEASURING THE DEPENDENCE OF CAPACITANCE OF MDS-STRUCTURE CAPACITOR UPON SURFACE ELECTROSTATIC POTENTIAL VALUE

机译:用于测量MDS结构电容器的表面静电势值与电容的关系的装置

摘要

机译:

著录项

  • 公开/公告号SU693276A1

    专利类型

  • 公开/公告日1979-10-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 KAUNASSKIJ POLT I IM. ANTANASA SNECHKUSA;

    申请/专利号SU19772497599

  • 发明设计人 RAGAUSKAS ARMINAS VSU;

    申请日1977-06-20

  • 分类号H01L21/66;G01R31/26;

  • 国家 SU

  • 入库时间 2022-08-22 19:58:42

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