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Process for forming a region irradiated with a thickness, dosage and dosage gradient desired in a material

机译:在材料中形成所需厚度,剂量和剂量梯度照射区域的方法

摘要

机译:

著录项

  • 公开/公告号BR7908587A

    专利类型

  • 公开/公告日1980-09-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 WESTINGHOUSE ELECTRIC CORP;

    申请/专利号BR19797908587

  • 发明设计人 SCHLEGEL E;BARTKO J;

    申请日1979-12-28

  • 分类号H01L31/18;

  • 国家 BR

  • 入库时间 2022-08-22 18:38:10

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