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机译:用于测量曲面表面的MICHELSON型干涉仪
公开/公告号SU741041A1
专利类型
公开/公告日1980-06-15
原文格式PDF
申请/专利权人 BYURO VZAIMOZAMENYAEMOSTI V METALLOOBRABATYVAYUSHCHEJ PROMYSHLENNOSTI;
申请/专利号SU19782669223
发明设计人 KAJNER GRIGORIJ BSU;LYAKHOVSKIJ ALEKSANDR VSU;
申请日1978-10-03
分类号G01B9/02;G01B11/24;G01B11/255;
国家 SU
入库时间 2022-08-22 17:49:43
机译: 干涉仪,用于监测光学曲线凹面的参数
机译: 干涉测量设备,用于测量例如对象的表面粗糙度具有参考干涉仪和调制干涉仪,其中干涉仪之间具有机械耦合,且在反向时存在反向间隙
机译: 用于测量表面形状的干涉仪,波前像差测量机,使用该干涉仪和机器制造投影光学系统以及用于校准该干涉仪的方法