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机译:机械手程序控制的步进系统
公开/公告号SU746433A1
专利类型
公开/公告日1980-07-05
原文格式PDF
申请/专利权人 PK T BYURO PO MASHINOSTROENIYU;
申请/专利号SU19782602029
发明设计人 GROMOSYAK VLADIMIR SSU;
申请日1978-04-10
分类号G05B19/40;B25J9/00;
国家 SU
入库时间 2022-08-22 17:49:01
机译: 机械手程序控制系统
机译: 机器人程序控制的循环系统
机译: 投影曝光系统用于半导体光刻的步进扫描系统具有光学元件,例如光学元件。镜头,由机械手的致动器操纵,例如Alvarez-element,其中机械手以可交换方式设计