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Method of pattern forming in a photosensitive composition having a reciprocity law failing property

机译:具有互易律失效特性的光敏组合物中的图案形成方法

摘要

The present invention relates to a novel light sensitive photoresist composition which is used for the photo-engraving process or for production of phosphor screen of color picture tubes. The light sensitive photoresist composition of the present invention comprises a novel water- soluble aromatic azide compound and a photo-crosslinkable water-soluble polymer.
机译:本发明涉及一种新型的光敏光刻胶组合物,该组合物用于照相制版工艺或彩色显像管的荧光屏的生产。本发明的光致抗蚀剂组合物包含新型的水溶性芳族叠氮化物化合物和可光交联的水溶性聚合物。

著录项

  • 公开/公告号US4191571A

    专利类型

  • 公开/公告日1980-03-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 HITACHI LTD;

    申请/专利号US19770766348

  • 申请日1977-02-07

  • 分类号G03C5/00;G03C1/68;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-22 17:06:40

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