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Method for determining silicon content in layers of aluminum and silicon

机译:测定铝和硅层中硅含量的方法

摘要

The method provides an extremely fast and non-destructive method for determining whether an integrated circuit will have good bonding characteristics. The method entails immersion plating of copper onto aluminum areas. Then, the aluminum areas are observed visually to see if the copper plated thereon is continuous or discontinuous. If the copper is discontinuous, the aluminum film will have good bonding characteristics.
机译:该方法提供了一种非常快速且无损的方法,用于确定集成电路是否具有良好的键合特性。该方法需要将铜浸镀到铝区域上。然后,目视观察铝区域以查看其上镀的铜是连续的还是不连续的。如果铜不连续,则铝膜将具有良好的粘合特性。

著录项

  • 公开/公告号US4282266A

    专利类型

  • 公开/公告日1981-08-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 RCA CORPORATION;

    申请/专利号US19800154598

  • 发明设计人 ALBERT W. FISHER;

    申请日1980-05-29

  • 分类号B05D5/12;C23F1/00;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-22 14:44:26

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