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机译：市五乡
公开/公告号JPS5729045B2
专利类型
公开/公告日1982-06-21
原文格式PDF
申请/专利权人
申请/专利号JP19740148640
发明设计人
申请日1974-12-27
分类号H01L21/30;G02B7/00;G02B27/00;G03F9/00;G05D3/00;G05D3/12;H01L21/027;H01L21/68;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 14:13:58
机译： 市五乡
