公开/公告号DE3104030A1
专利类型
公开/公告日1982-08-26
原文格式PDF
申请/专利号DE19813104030
发明设计人 GLASOW PETER DIPL.-PHYS.;RÜHLE WOLFGANG DR.PHYS. 8520 ERLANGEN DE;WEYRICH CLAUS DR.PHYS. 8035 GAUTING DE;
申请日1981-02-05
分类号H01L31/10;G01T1/202;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 12:39:42