公开/公告号JPS5854494B2
专利类型
公开/公告日1983-12-05
原文格式PDF
申请/专利权人 CANON KK;
申请/专利号JP19740114241
发明设计人 NAKATSUI HISASHI;
申请日1974-10-03
分类号G03C5/56;C03C3/12;C03C3/32;C03C4/04;G03C1/00;G03C1/705;G03F1/00;G03F1/68;G03F1/80;G03F7/038;G03F9/00;G03H1/18;H01L21/02;H01L21/027;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 09:24:10
