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机译:在电子平版印刷中寻找曝光基材上的参考符号所涉及的问题
公开/公告号CS368283A1
专利类型
公开/公告日1984-05-14
原文格式PDF
申请/专利权人 VASINA PETR RNDR.;FRANK LUDEK RNDR.;
申请/专利号CS19830003682
发明设计人 VASINA PETR RNDR.;FRANK LUDEK RNDR.;
申请日1983-05-25
分类号H01J;
国家 CS
入库时间 2022-08-22 09:22:06
机译: 在电子平版印刷中寻找曝光基材上的参考符号所涉及的问题
机译: 电子光刻技术中用于校正位置坐标的连接