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机译:于真空中打开蛇形翅片扁平翅抗原的方法和装置
公开/公告号DD235977A1
专利类型
公开/公告日1986-05-21
原文格式PDF
申请/专利权人 MIKROELEKTRONIK ZT FORSCH TECH DD;
申请/专利号DD19850274585
发明设计人 FELBER REINMAR DD;MARSCHNER JOHANNES DD;ECKOLD DIETER DD;
申请日1985-03-29
分类号H02N13/00;
国家 DD
入库时间 2022-08-22 07:42:30
机译: 方法双边chemomechanischen抛光其实施halbleiterscheiben和设备,从而提供halbleiterscheiben
机译: 的双侧化学机械抛光方法及其实施方法,因此有售
机译: halbleiterscheibenbeh,用于存放halbleiterscheiben的结构以及装载和卸载halbleiterscheiben的方法