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Process for preparing thin films of potassium niobate, potassium tantalate, and mixed crystals thereof

机译:铌酸钾,钽酸钾及其混合晶体薄膜的制备方法

摘要

Epitaxial layers of KNbO3, KTaO3 or mixed crystals thereof can be deposited on suitable substrates from a melt solution of these substances in potassium metavanadate. The physical properties of the thin films can in the process be largely influenced by the choice of the chemical composition of the solution and the deposition temperature. The relatively simple technology of liquid-phase epitaxy of these substances in particular provides for the preparation of wave-guiding thin films for the active components of integrated optics.
机译:KNbO3,KTaO3或其混合晶体的外延层可以由这些物质在偏钒酸钾中的熔融溶液沉积在合适的基材上。在此过程中,薄膜的物理性质在很大程度上受到溶液化学成分和沉积温度的选择的影响。这些物质的液相外延的相对简单的技术尤其提供了用于集成光学器件的有源组件的波导薄膜的制备。

著录项

  • 公开/公告号CH656894A5

    专利类型

  • 公开/公告日1986-07-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 STIFTUNG ENTWICKLUNGSFONDS SELTENE METALLE;

    申请/专利号CH19820004330

  • 发明设计人 BOHAC PETER DR.;

    申请日1982-07-16

  • 分类号C30B19/02;G02B1/02;H01P11/00;G02B6/12;

  • 国家 CH

  • 入库时间 2022-08-22 07:33:24

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