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SEXTUPOLE SYSTEM FOR THE CORRECTION OF SPHERICAL ABERRATION

机译：修正球面像差的辅助系统

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摘要

A means is provided for compensating for spherical aberration in charged particle beam devices. The means includes a sextupole positioned between two focusing lenses.

机译：提供了一种用于补偿带电粒子束装置中的球面像差的装置。该装置包括位于两个聚焦透镜之间的六极杆。

著录项

公开/公告号DE3071640D1

专利类型
公开/公告日1986-07-17

原文格式PDF
申请/专利权人 UNITED STATES DEPARTMENT OF ENERGY;
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申请/专利号DE19803071640T
发明设计人 CREWE ALBERT VICTOR;KOPF DAVID AARON;
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申请日1980-09-19
分类号H01J3/12;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 07:32:49

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