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机译:防毒面具的光学校正
公开/公告号SE8703509D0
专利类型
公开/公告日1987-09-10
原文格式PDF
申请/专利权人 HORDA AB;
申请/专利号SE19870003509
发明设计人 R * JOHANSSON;
申请日1987-09-10
分类号
国家 SE
入库时间 2022-08-22 07:18:45
机译: 用于相位缺陷校正的掩模校正光学系统,用于相位缺陷校正的掩模校正装置以及用于相位缺陷校正的激光CVD掩模校正装置
机译: 曝光掩模,光学接近度校正装置,光学接近度校正方法,半导体装置的制造方法以及光学接近度校正程序