公开/公告号EP0014149B1
专利类型
公开/公告日1987-05-06
原文格式PDF
申请/专利权人 COMMISSARIAT A LENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT DE CARACTERE SCIENTIFIQUE TECHNIQUE ET INDUSTRIEL;
申请/专利号EP19800400098
申请日1980-01-22
分类号G05F3/20;H01L27/08;H01L29/10;
国家 EP
入库时间 2022-08-22 07:15:55