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机译：ZR02-TIC-SIC基烧结体的制造
公开/公告号JPS63170262A
专利类型
公开/公告日1988-07-14
原文格式PDF
申请/专利权人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD;
申请/专利号JP19870003063
发明设计人 MIYAKE MASAYA;YAMAKAWA AKIRA;
申请日1987-01-09
分类号C04B35/48;C04B35/56;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 07:06:52
机译： 由该烧结体构成的包含氧化镧系烧结体的溅射靶，与该氧化镧系烧结体相同的制造方法的溅射靶的制造方法
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