公开/公告号JPS63164372A
专利类型
公开/公告日1988-07-07
原文格式PDF
申请/专利权人 THOMSON CSF;
申请/专利号JP19870315085
申请日1987-12-12
分类号H01L31/0264;H01J1/30;H01J1/308;H01J1/34;H01L27/14;H01L27/146;H01L29/86;H01L31/0352;H01L31/09;H01L31/107;H01L31/111;H01L31/153;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 07:05:01