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机译:方法测定基质中低纯根的含量
公开/公告号DD260164A1
专利类型
公开/公告日1988-09-14
原文格式PDF
申请/专利权人 UNIV DRESDEN TECH DD;
申请/专利号DD19870302199
发明设计人 MUELLER FRANK DD;HAESSLER WOLFGANG DD;BAUER REINHARD DD;
申请日1987-04-28
分类号H05K3/42;H05K3/12;
国家 DD
入库时间 2022-08-22 07:00:49
机译: 半导体器件反应室的基板处理装置,基板处理方法,制造方法和闭塞方法。
机译: 通过在每个空白空间中提供衬底支撑元件以将下衬底水平键合到上衬底水平中的半导体芯片区域,并切断上衬底水平和衬底支撑元件来对半导体芯片进行切割
机译: 气体阻塞方法,气体释放方法和气体阻塞/释放方法,以及气体阻塞装置,气体阻塞/释放装置和气体存储装置