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机译:用于连续测量面板或结构工作层在其方向上滑动的厚度的设备。
公开/公告号CH667151A5
专利类型
公开/公告日1988-09-15
原文格式PDF
申请/专利权人 DR. VON BALLMOOS AG;
申请/专利号CH19850002241
发明设计人 VON BALLMOOS FRITZ DR.;
申请日1985-05-28
分类号G01B11/06;G01B7/06;
国家 CH
入库时间 2022-08-22 06:53:06
机译: 连续测量细长工件厚度的测量装置
机译: 连续测量基质上薄透明层厚度的干涉仪