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机译:盐分法的划分方法
公开/公告号DE2730130C2
专利类型
公开/公告日1987-11-12
原文格式PDF
申请/专利权人 MITSUBISHI DENKI K.K. TOKYO JP;
申请/专利号DE19772730130
发明设计人 MIHARA KIYOHIKO;ISHIBASHI YOSHIO ITAMI HYOGO JP;FUJII TOSHIYUKI;HOKUYO SHIGERU;
申请日1977-07-04
分类号H01L21/304;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 06:52:59
机译: 盐分法的划分方法
机译: 方法双边chemomechanischen抛光其实施halbleiterscheiben和设备,从而提供halbleiterscheiben
机译: 的双侧化学机械抛光方法及其实施方法,因此有售