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机译:包含吸气/离子原子混合泵的超高真空系统上的高真空
公开/公告号GB2164788B
专利类型
公开/公告日1988-07-20
原文格式PDF
申请/专利权人 * SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT;
申请/专利号GB19850023212
发明设计人 FRIEDRICH * LOBS;HEINZ * MAGDEFESSEL;
申请日1985-09-19
分类号H01J41/12;
国家 GB
入库时间 2022-08-22 06:50:46
机译: 用于高真空和超高真空系统的吸气剂/离子雾化组合泵
机译: 用于真空绝热材料的组合吸气剂和包括该吸气剂的真空绝热材料
机译: 包含吸气泵的吸气泵和真空涂层的安装