公开/公告号JPH01264930A
专利类型
公开/公告日1989-10-23
原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI LTD;
申请/专利号JP19880091502
申请日1988-04-15
分类号H01L39/12;C01G1/00;C01G15/00;C04B35/00;C04B35/45;C04B41/89;C23C14/08;C23C14/34;C23C16/30;H01B12/04;H01B13/00;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 06:46:16