公开/公告号DD265649A1
专利类型
公开/公告日1989-03-08
原文格式PDF
申请/专利号DD19870307978
发明设计人 HEISIG ULLRICH DD;RICHTER FRANK DD;KOSCH WOLFGANG DD;JUNGHANS BERND DD;SCHUERER SIEGFRIED DD;UNGER WOLF DD;REICHARDT HORST DD;
申请日1987-10-15
分类号C23C14/34;C23C14/02;H01L21/302;H01L21/283;
国家 DD
入库时间 2022-08-22 06:40:04