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A process for the predetermined structured deposition of microstructures with laser light

机译：用激光对微结构进行预定结构化沉积的方法

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摘要

improvement in a method of structured lcvd capture, in particular, a substratkörpers inhomogenem material (1) in that the capture the substrate surface (2) with a reflectivity and / or lateral heat c

机译：结构化LCVD捕获方法的改进，特别是地下非均质材料（1）的改进之处在于捕获具有反射率和/或横向热量的衬底表面（2）

著录项

公开/公告号DE3730644A1

专利类型
公开/公告日1989-03-30

原文格式PDF
申请/专利权人 BÄUERLE DIETER PROF. DR. LINZ AT;
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申请/专利号DE19873730644
发明设计人 BÄUERLE DIETER PROF. DR. LINZ AT;
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申请日1987-09-11
分类号C23C16/04;C03C17/36;H01L21/31;C03C17/09;H05K3/02;B32B3/14;C04B41/85;C03C17/23;H01L21/90;H01L21/60;H01L21/205;H01L21/28;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 06:31:13

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