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机译:化学传感器和化学传感器阵列的电化学修饰的集成方法
公开/公告号DE3734634C2
专利类型
公开/公告日1989-10-05
原文格式PDF
申请/专利权人 JOSOWICZ MIRA DR.RER.NAT. 8012 OTTOBRUNN DE;
申请/专利号DE19873734634
发明设计人 JOSOWICZ MIRA DR.RER.NAT. 8012 OTTOBRUNN DE;
申请日1987-10-13
分类号G01N27/12;G01N27/416;G01N27/46;H01L21/30;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 06:31:05
机译: 用于化学传感器和一系列化学传感器的电化学修饰的集成过程
机译: 电化学气体传感器,CO和H2的选择性检测方法以及电化学气体传感器的修改方法
机译: 传感器阵列集成电化学芯片,其形成方法和电极涂层