退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
机译:杂质快速热扩散到硅中的方法及其快速热扩散装置
公开/公告号KR910001893A
专利类型
公开/公告日1991-01-31
原文格式PDF
申请/专利权人 이상수;
申请/专利号KR19890008147
发明设计人 김충기;김경태;김정규;
申请日1989-06-13
分类号H01L21/26;
国家 KR
入库时间 2022-08-22 05:52:05
机译: 具有热扩散成员的电子设备,具有热扩散成员的电子设备的制造方法以及热扩散成员
机译: 杂质扩散模拟方法,杂质扩散模拟装置以及杂质扩散模拟程序
机译: 使用该装置的扩散容器,杂质扩散装置和杂质扩散方法