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Preparation method of selective TiSi_2 film using nitrided oxide film

机译：利用氮化膜制备选择性TiSi_2膜的方法

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公开/公告号KR910005400A

专利类型
公开/公告日1991-03-30

原文格式PDF
申请/专利权人 문정환;
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申请/专利号KR19890012486
发明设计人 나관구;
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申请日1989-08-31
分类号H01L21/30;
国家 KR
入库时间 2022-08-22 05:51:55

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