公开/公告号JPH04229669A
专利类型
公开/公告日1992-08-19
原文格式PDF
申请/专利号JP19910097617
申请日1991-04-26
分类号C01G1/00;C01G15/00;C23C14/08;C23C14/34;C23C14/54;C23C14/58;C30B11/00;C30B23/02;C30B33/00;F27B17/00;H01L39/14;H01L39/24;H01P1/203;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 05:45:10