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BIAXIAL GONIO-STAGE

机译:双轴角阶

摘要

PURPOSE:To have a low-height type biaxial gonio-stage by turning in an arcuate form the Y-axis gonio-stage of the biaxial gonio-stage by means of a guiding means provided on the X-axis gonio-stage, thereby inclining the Y-axis stage at an arbitral angle. CONSTITUTION:In this biaxial gonio-stage a Y-axis gonio-stage 12 is turned in an arcuate form by means of guiding means 11d provided on a side parallel to the Y-axis direction of X stage 11a of an X-axis gonio-stage 11, and the Y stage 12a of the Y-axis gonio-stage 12 is adapted to be inclined in the Y axis direction at an arbitral angle. Namely, the Y axis gonio-stage 12 is installed on the X axis gonio-stage 11 so that the X axis gonio-stage 11 and the Y axis gonio-stage 12 are mutually position in the height direction. As a result, a biaxial gonio stage of low height type can be provided.
机译:用途:通过设置在X轴测角台上的导向装置,将双轴测角台的Y轴测角台弯曲成弧形,从而获得低高度型双轴测角台Y轴平台处于任意角度。组成:在该双轴测角仪中,Y轴测角仪台12借助导向装置11d呈弧形旋转,该导向装置设置在与X轴测角仪X轴11a的Y轴方向平行的一侧。 Y轴测向载物台12的Y载物台11a和Y载物台12a适于沿Y轴方向以任意角度倾斜。即,将Y轴测平台12安装在X轴测平台11上,以使X轴测平台11和Y轴测平台12在高度方向上相互定位。结果,可以提供低高度型的双轴测角台。

著录项

  • 公开/公告号JPH03270817A

    专利类型

  • 公开/公告日1991-12-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 FUJITSU AUTOM LTD;

    申请/专利号JP19900070657

  • 发明设计人 HIGUCHI YOICHI;MAKABE TAKESHI;

    申请日1990-03-20

  • 分类号G21K1/06;A61B6/04;A61N5/10;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-22 05:38:18

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