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Method of producing optical waveguides by an ion exchange technique on a glass substrate

机译:通过离子交换技术在玻璃基板上制造光波导的方法

摘要

The invention relates to a method of producing waveguides (6) by an ion exchange technique on a glass substrate (1). In order to be able to alleviate the tolerances allowed for the ion exchange technique, waveguides (3) are formed by first diffusing ions which increase the refractive index into the glass substrate (1) over an area wider than the optical waveguides to be produced (6). A positive-type ion exchange mask (4) is formed thereon, and finally the ions which increase the refractive index are taken off by using the ion exchange technique in the regions having no mask.
机译:本发明涉及在玻璃基板(1)上通过离子交换技术制造波导(6)的方法。为了能够减轻离子交换技术所允许的公差,通过首先扩散离子来形成波导(3),这些离子在比要生产的光波导( 6)。在其上形成正型离子交换掩模(4),最后通过使用离子交换技术在没有掩模的区域中去除增加折射率的离子。

著录项

  • 公开/公告号EP0467579A3

    专利类型

  • 公开/公告日1992-03-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 OY NOKIA AB;

    申请/专利号EP19910306242

  • 发明设计人 HONKANEN SEPPO;TERVONEN ARI;

    申请日1991-07-10

  • 分类号G02B6/12;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-22 05:29:42

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