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机译:联合电磁动态随机存储器的制造方法及动态随机存储器的结构
公开/公告号KR920020712A
专利类型
公开/公告日1992-11-21
原文格式PDF
申请/专利权人 경상현;
申请/专利号KR19910006167
发明设计人 이규홍;채상훈;여순일;김진섭;이진효;
申请日1991-04-17
分类号H01L27/10;
国家 KR
入库时间 2022-08-22 05:04:58
机译: 具有垂直结构和动态RAM结构的双极动态RAM的制造方法
机译: 动态RAM的布线结构及其制造方法
机译: 用于动态RAM的绝缘结构的制造方法,包括执行湿化学蚀刻步骤以去除衬底,并垂直于涂层增加或减少衬底中间的掺杂材料的浓度