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APPARATUS FOR PRODUCING AN THIN FILM OF Y1 Ba2 Cu3 O7-y HIGH TEMPERATURE SUPER CONDUCTION METAL BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION

机译：用化学气相沉积法制备Y1 Ba2 Cu3 O7-y高温超导金属薄膜的装置

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公开/公告号KR930002443B1

专利类型
公开/公告日1993-03-30

原文格式PDF
申请/专利权人 KOREA ATOMIC ENERGY RESEARCH INSTITUTE;
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申请/专利号KR19910004383
发明设计人 LEE HUI - KYUN;PARK SUN - DONG;KIM KI - BAEK;JANG IN - SUN;JANG IN - SUN;WON DONG - YON;
展开▼

申请日1991-03-20
分类号C23C16/00;
国家 KR
入库时间 2022-08-22 05:04:45

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