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机译:HTO膜生长期的反应气体混合物供给装置
公开/公告号KR930008827U
专利类型
公开/公告日1993-05-25
原文格式PDF
申请/专利权人 금성일렉트론 주식회사;
申请/专利号KR19910017063U
发明设计人 권오선;
申请日1991-10-14
分类号H01L21/31;
国家 KR
入库时间 2022-08-22 05:04:24
机译: 熔融炉反应塔中的燃料气体供给方法包括使用气体燃料的浓缩燃烧器,固体材料供给装置,气体供给装置和分散装置。与散射气体混合并在反应塔中吸收混合物。
机译: HTO膜生长系统的混合气体供应装置
机译: 气相增长反应的气体混合物供应容器