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Method for the preparation of a logical matrix with polysilicon - emitter contact and thereby hergstelltes component.

机译:制备具有多晶硅-发射极接触并由此形成hergstelltes分量的逻辑矩阵的方法。

摘要

A Schottky diode includes a metal layer (62) on an epitaxial region (24). The metal layer (62) is covered with a dielectric layer (64). An area (90) on the metal is exposed by opening a via (68) in the dielectric. The exposed area (90) is spaced from a buried perimeter (92) of the metal layer (62). A conductive lead (86) is formed in the Schottky via (68). A poly emitter terminal (46) connects a small sized emitter (50) formed in an epitaxial region (24) to the exterior. Poly emitter (46) presents a large area (76) to the exterior for alignment with a via (66) through a passivating dielectric layer (64), thus alleviating alignment problems.
机译:肖特基二极管包括在外延区域(24)上的金属层(62)。金属层(62)被电介质层(64)覆盖。通过在电介质中打开通孔(68)暴露金属上的区域(90)。暴露区域(90)与金属层(62)的掩埋周边(92)间隔开。在肖特基通孔(68)中形成导电引线(86)。多发射极端子(46)将在外延区域(24)中形成的小尺寸发射极(50)连接到外部。多晶硅发射极(46)在外部具有大的区域(76),用于与穿过钝化电介质层(64)的通孔(66)对准,从而减轻对准问题。

著录项

  • 公开/公告号DE3688172T2

    专利类型

  • 公开/公告日1993-10-14

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 TEXAS INSTRUMENTS INC US;

    申请/专利号DE19863688172T

  • 发明设计人 MORRIS FRANCIS J US;EVANS STEPHEN A US;

    申请日1986-10-14

  • 分类号H01L21/60;H01L27/02;H01L23/48;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-22 05:02:21

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