公开/公告号DE4221385A1
专利类型
公开/公告日1994-01-05
原文格式PDF
申请/专利号DE19924221385
发明设计人 DETTMANN FRITZ DIPL.-PHYS. DR.SC.NAT. 6334 ASSLAR DE;LOREIT UWE DIPL.-PHYS. 6330 WETZLAR DE;FUCHS DIETER DIPL.-ING. 6420 NEUHAUS DE;DOBERSCHUETZ FRANK-MICHAEL DIPL.-ING. 6420 NEUHAUS DE;MERKER STEFFEN DIPL.-ING. 6427 LICHTE DE;
申请日1992-06-30
分类号G01R19/00;H01L23/50;G01R15/02;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 04:36:10