(a)一种不溶于水但可溶于碱的聚合物粘合剂,
(b)一种有机化合物,其溶解度在碱性显影剂是一种辐射敏感混合物在酸的作用下增加,并且包含至少一个酸可裂解的基团,另外还包含在辐射下形成强酸的基团,以及(P)(P)与水或较强亲核试剂反应的有机化合物高达120 C
公开/公告号US5300400A
专利类型
公开/公告日1994-04-05
原文格式PDF
申请/专利权人 BASF AKTIENGESELLSCHAFT;
申请/专利号US19930091089
申请日1993-07-14
分类号G03F7/30;
国家 US
入库时间 2022-08-22 04:31:58