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机译:selbst u00fcberwachungsf u00e4用于有害物质的高级半导体酒精
公开/公告号DE29501233U1
专利类型
公开/公告日1995-06-08
原文格式PDF
申请/专利权人 SIBET GMBH (SICAN FORSCHUNGS- UND ENTWICKLUNGSBETRIEBSGESELLSCHAFT) 30419 HANNOVER DE;
申请/专利号DE1995201233U
发明设计人
申请日1995-01-27
分类号G01N27/403;H01L49/00;G01N27/333;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 04:10:03
机译: 具有自我监控能力的半导体传感器,用于侵蚀性物质
机译: 用诸如异丙醇之类的物质干燥诸如半导体晶片之类的物品的蒸气装置和方法