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process for the production of an optical thin film wellenleiters from has analyzed nanostructured tio2.

机译:从中生产光学薄膜阱的方法已经分析了纳米结构的二氧化钛。

摘要

A process is disclosed for the production of an optical thin film waveguide of TiO2 with an attenuation of 5 dB/cm on a planar inorganic substrate wherein the thin film waveguide is produced by a microwave plasma CVD process (PCVD).
机译:公开了一种在平面无机基板上生产衰减<5dB / cm的TiO 2光学薄膜波导的方法,其中该薄膜波导是通过微波等离子体CVD工艺(PCVD)生产的。

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