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A process for the preparation of a fast diode and fast diode obtained by this method.

机译:一种制备快速二极管的方法和通过该方法获得的快速二极管。

摘要

The present invention relates to a method of modulation of the quantity of a metal such as gold broadcast in a silicon substrate, in which, prior to the diffusion of gold, a diffusion of a dopant such as phosphorus varies within a range 5 to 10 * * * * 1 3 1 and 10 * * * * * * 5 carbon atoms / cm 3, the concentration of phosphorus is increased at the locations where it is desired to increase the concentration of gold.
机译:本发明涉及一种调节在硅衬底中传播的金属如金的量的方法,其中,在金的扩散之前,诸如磷的掺杂剂的扩散在5到10 *的范围内变化。 * * * 1 3 1和10 * * * * * * 5个碳原子/ cm 3,磷的浓度在希望增加金浓度的位置增加。

著录项

  • 公开/公告号DE68915510T2

    专利类型

  • 公开/公告日1995-01-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SGS THOMSON MICROELECTRONICS FR;

    申请/专利号DE1989615510T

  • 发明设计人 FOLLEGOT JEAN-PIERRE FR;

    申请日1989-11-06

  • 分类号H01L21/22;H01L29/167;H01L29/36;H01L29/91;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-22 04:08:37

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