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Method and apparatus for forming a plurality of tracks in a flexible workpiece with a high energy particle

机译：在具有高能粒子的柔性工件中形成多个轨道的方法和设备

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摘要

The present invention features methods and apparatus for forming a plurality of tracks in a foil or film with high-energy charged particles by forming layers.

机译：本发明的特征在于用于通过形成层在具有高能带电粒子的箔或膜中形成多个轨道的方法和设备。

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公开/公告号US5449917A

专利类型
公开/公告日1995-09-12

原文格式PDF
申请/专利权人 COSTAR CORPORATION;
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申请/专利号US19940226390
发明设计人 JAMES G. CLEMENTS;
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申请日1994-04-12
分类号H01J27/00;
国家 US
入库时间 2022-08-22 04:04:22

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