公开/公告号JPH0864500A
专利类型
公开/公告日1996-03-08
原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI LTD;
申请/专利号JP19940200480
发明设计人 MAEJIMA HIROSHI;KUNIYOSHI SHINJI;IRIKITA NOBUYUKI;KOMORIYA SUSUMU;MACHIDA TAKAHIRO;KOBAYASHI MASAMICHI;
申请日1994-08-25
分类号H01L21/027;G03F7/20;G03F9/00;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 03:55:23