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Elevated emitter for double poly BICMOS devices

机译:双多晶硅BICMOS器件的高架发射极

摘要

A monolithic semiconductor device includes a field effect transistor and a bipolar junction transistor with an elevated emitter structure. An elevation structure raises the BJT emitter above the plane of the base. The elevation structure increases travel distance between a heavily doped base contact region and the emitter and protects against encroachment without increasing the total surface area allocated to the BJT device. A spacer oxide separates the polysilicon base contact and the elevation structure.
机译:单片半导体器件包括具有升高的发射极结构的场效应晶体管和双极结型晶体管。高程结构将BJT发射器提升到基座平面上方。该立面结构增加了重掺杂的基极接触区域和发射极之间的行进距离,并防止了侵扰,而没有增加分配给BJT器件的总表面积。隔离氧化物将多晶硅基极触点和高程结构分开。

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