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机译:激光干涉仪的待测物调整座
公开/公告号JP2546025Y2
专利类型
公开/公告日1997-08-27
原文格式PDF
申请/专利权人 富士写真光機株式会社;
申请/专利号JP19910017813U
发明设计人 大井 重徳;
申请日1991-03-01
分类号G01B9/02;G01B11/24;G01M11/02;G12B5/00;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 03:32:10
机译: 激光干涉仪的待测物调整座